חומרי יעד לטיטניום

1. סקירה כללית
חומר יעד מתייחס לחומר שהופצץ על ידי חלקיקי אנרגיה גבוהה במהלך תהליכים כמו התצהיר מפיץ. ניתן לסווג יעדים לסוגי מתכתי, סגסוגת או תחמוצת. על ידי שינוי חומר המטרה (למשל, אלומיניום, נחושת, נירוסטה, טיטניום, ניקל), מערכות סרטים דקים שונים, כמו ציפוי סגסוגת אולטרה-קשה, עמידות בלאי או עמידות בפני קורוזיה.

(1) יעדים מתכתיים:
ניקל (NI), טיטניום (TI), אבץ (ZN), כרום (CR), מגנזיום (מ"ג), ניוביום (NB), TIN (SN), אלומיניום (AL), אינדיום (IN), ברזל (FE), זירקוניום-אלומיניום (זרל), טיטניום-אלומיניום (זירקוניום), זירקוניום, זירקוניום), זירקוניום) (זירקוניום) (זירקוניום) (זירקוניום) (זירקוניום) (זירקוניום) (Zirciinum) (Zircuinum) (Tial) (Zircium) (Ziriium),,, (ALSI), סיליקון (SI), נחושת (CU), טנטלום (TA), גרמניום (GE), כסף (AG), קובלט (CO), זהב (AU), גאדוליניום (GD), Lanthanum (La), yttrium (y), cerium (ce), tungsten (w), laistium, chicle-concemic (y), cerium), ce), w) Hafnium, chice-chicium-Chicium-Chicium, charium-Charium-Chicium, (HF), מוליבדן (מו), ברזל-ניקל (פני) וכו '.

(2) יעדי קרמיקה:
ITO, תחמוצת מגנזיום, תחמוצת ברזל, סיליקון ניטריד, סיליקון קרביד, טיטניום ניטריד, תחמוצת כרום, תחמוצת אבץ, אבץ גופרתי, סיליקון דו חמצני, סיליקון מונוקסיד, דיוקסיד, דיקוניום, דיוקוניום, דיוקוניום, דיקוניום דיקוניום, דיאניום דיקוניום, זירקוניום, זירקוניום, זירקוניום, TICANIUD DIBIDIDIDIDIDIDIDIDIDIDIDIDIDU, דיבורד, טונגסטן טריוקוזיציה, אלומינה (AL₂O₃), טנטלום פנטוקסיד, ניוביום פנטוקסיד, מגנזיום פלואוריד, יטטריום פלואוריד, סלניד אבץ, אלומיניום ניטריד, ניטריד בורון, חומרי טייטניט, טייטנייט, טייטנייט, טיטנייט.

2. דרישות ביצועי מפתח ליעדים

(1) טוֹהַר
טוהר הוא אחד ממדדי הביצועים החשובים ביותר, מכיוון שהוא משפיע ישירות על תכונות הסרט הדק. לדוגמה, במיקרואלקטרוניקה, גדלי הוופל גדלו מ- 6 "ו- 8" עד 12 ", בעוד שרעת הרוח התכווצו מ- 0. 5 מיקרומטר ל 0. 13} או קטן יותר. קווים דורשים כעת טוהר של 99.999% או אפילו 99.9999%.

(2) תוכן טומאה
זיהומים מוצקים וגזים נספגים כמו חמצן ומים הם מקורות זיהום ראשוניים בסרטים דקים. לתעשיות ספציפיות, כמו מוליכים למחצה, יש דרישות מחמירות לגבי מתכות אלקלי ואלמנטים רדיואקטיביים באלומיניום וסגסוגותיה.

(3) צְפִיפוּת
צפיפות גבוהה עוזרת להפחית נקבוביות במטרה, ובכך לשפר את ביצועי הסרטים המפזרים. הצפיפות משפיעה לא רק על קצב התזות, אלא גם על התכונות החשמליות והאופטיות של הסרטים. יעדים צפופים יותר גם הם לעמוד במתח תרמי במהלך התזת.

(4) גודל התבואה וההפצה
למטרות בדרך כלל מבנים פולי -קריסטליים. דגנים עדינים יותר נוטים לשפר את שיעורי התזות, ואילו חלוקת גודל התבואה האחידה מבטיחה אפילו עובי סרט במהלך התצהיר.

3. ציוני חומר
Ta {{0}}, Ta1, Ta2, Ta9, Ta10, Zr2, Zr0, Gr5, Gr2, Gr1, TC11, TC6, TC4, TC3, TC2, TC1.

4. יישומים
חומרי יעד נמצאים בשימוש נרחב לציפויים דקורטיביים, לסרטים עמידים בלאי ובתעשיית האלקטרוניקה עבור ציפוי דיסק CD, VCD וציפוי דיסק מגנטי.

סרטי טונגסטן-טיטניום (W-TI)
W-Ti והסגסוגות שלה הם ציפויים פונקציונליים בטמפרטורה גבוהה עם יתרונות בלתי ניתנים להחלפה. טונגסטן מציע נקודת התכה גבוהה, חוזק ומקדם התפשטות תרמית נמוכה. סרטי W-Ti מאופיינים בהתנגדות חשמלית נמוכה, יציבות תרמית מעולה ועמידות בפני חמצון חזק.

מתכות מקשרים מסורתיים כמו Al, Cu ו- Ag מחומצנים בקלות, קשורים בצורה גרועה לשכבות דיאלקטריות, ומועדות להתפשטות למצעים כמו Si ו- Sio₂. התנהגויות אלה משפילות את ביצועי המכשירים. לעומת זאת, סגסוגות W-Ti משמשות מחסומי דיפוזיה מצוינים בגלל תכונותיהם התרמומכניות היציבות, קצב האלקטרומיה הנמוך, וקורוזיה מעולה ועמידות כימית מייצרת אותם אידיאליים לסביבות זרם גבוה וטמפרטורה גבוהה.

5. השקפת פיתוח
יעדי W-Ti התגלו לאחרונה כחומרי ציפוי קריטיים לתאים פוטו-וולטאיים, במיוחד כחסמי דיפוזיה בתאים סולאריים מהדור השלישי. הודות לתכונותיהם החריגות, הביקוש ליעדי W-Ti זינק בשנים האחרונות. בשנת 2008 הגיעה הביקוש העולמי ל -400 טון. ככל שתעשיית השמש גדלה, נתון זה צפוי לעלות משמעותית.

שוק התאים הסולאריים הבינלאומי מתרחב במהירות, עם צמיחה שנתי של 100%. חברות רבות כוללות את Wverthsurlfulcell של גרמניה, האנרגיה הסולארית העולמית של ארה"ב, הונדה שואו-סולארית של יפן, ומתכות היטאצ'י-משקיעות באופן פעיל במגזר זה.

סין פיתחה יעדי W-TI אולטרה-גדולים, צפיפות גבוהה וטוהרת גבוהה, מחלקה חדשה של חומרי ציפוי מעבדים יונים. אלה נמצאים בשימוש נרחב כשכבות מכוונון מחסום או צבע בתצוגות, שכבות דקורטיביות במחשבים ניידים, אנקפסולציה של סוללה וחסמי דיפוזיה של תאים פוטו-וולטאיים. הפוטנציאל המסחרי והכלכלי שלהם הוא משמעותי. בנוסף, הייצור שלהם יכול להניע שדרוגים בתעשיית הטונגסטן בסין, להגדיל את ערך המוצר והתחרותיות הגלובלית.